【案例分享】晶圆温度监控
来源: | 作者:JYTEK | 发布时间: 2024-12-04 | 381 次浏览 | 分享到:

应用

在半导体行业,晶圆的制造、设计、加工、封装等近千道工艺环节中,温度始终贯穿其中。温度的精密监测对于确保晶圆的质量和最终产品的性能至关重要。微小的温度波动可能对电路的稳定性、可靠性以及功能性产生重大影响,因此,晶圆温度的精准测量已经成为关键的技术需求


挑战

为了确保产品质量,测试过程中需要多通道高精度的测温电路技术。客户需要研制一套16通道甚至更多可扩展的有线高精度晶圆温度测量系统,以实现整体显示温度云图,实时了解各个测点的温度变化


解决方案

针对晶圆温度变化的实时监控,简仪提供了热电偶测量方法进行全面的温度监测。为了更好地呈现温度数据,通过采用C#编程语言进行二维差值处理,并且生成温度场图进行可视化展示。通过这种方式,生产过程中温度变化的全貌能够被精确监控,确保每一个环节的温控要求得到满足。


使用的简仪产品

硬件

  • USB-6312:高精度490 ppm,24位分辨率,通道隔离型热电偶输入模块

软件

  • 基于开源免费的锐视测控软件开发应用程序

  • C# 机器学习套件


为什么选择简仪

  • 锐视测控平台®锐视测控平台®使用C#语言开发,提供了一个强大且易于使用的开发环境,帮助客户快速实现项目开发。

  • 成熟的产品:简仪产品经过长期市场验证,具有可靠的性能和稳定性。

  • POC验证服务:简仪提供售前的POC验证服务,帮助客户验证产品性能和适用性。

  • 高精度:简仪的产品满足了客户对测试精度和可靠性的高要求。

  • 成本效益:相比国外品牌,简仪的解决方案不仅性能更优,而且在成本上具有明显优势,降低了客户的整体制造成本。

  • 供货速度:简仪能够快速供货,确保项目按时进行。

  • 技术支持和快速响应能力:简仪提供优质的本地化技术支持,快速响应客户需求,帮助客户解决问题,确保了测试任务的顺利进行。


通过采用简仪的高精度温度测量模块和锐视测控软件平台®,客户在晶圆生产过程中能实现了精确的温度监控。不仅提高了生产效率和产品质量,也确保了最终产品的可靠性和性能。简仪的高性价比产品和优质的服务,使得这一温度监控系统在满足高精度要求的同时,降低了生产成本,得到了客户的高度认可