应用

在半导体制造过程中，晶圆的质量控制至关重要。晶圆缺陷检测系统是确保产品质量的关键工具之一。该系统主要利用非接触式激光传感器对晶圆进行缺陷测试，通过同步位置信号和传感器信号来确定缺陷的具体位置。

挑战

• 同步精度：实现位置信号与传感器信号的高度同步，是精准检测缺陷的关键。位移传感器和激光传感器必须在微秒级别的精度下协同工作，才能保证检测结果的可靠性。

• 数据采集精度：传感器的精度非常高，达到了千分之一的精度，这对数据采集设备提出了更高的要求。采集设备不仅需要与传感器匹配，还必须能够处理大量的高精度数据，以确保检测结果的准确性。

解决方案

针对这些挑战，简仪提供了一套有效的解决方案。使用PCIe-5515搭配数字重触发功能，可以将位置传感器的信号发送到数字触发口。这样，在触发的时刻可以快速采集数据并进行分析，从而实现位置信号与数据的同步。此外，5500系列数采模块即使在高采样率下也能保持极高的精度，能够对灵敏的传感器信号进行高精度采集。后期通过加入滤波等功能进一步优化信号处理，确保了数据采集的准确性和可靠性。

使用的简仪产品

硬件

• PCIe-5515：16通道模拟输入，2通道模拟输出，24通道数字输入输出，高精度数据采集模块。具有数字重触发功能，确保数据采集的精准同步。

• 5500系列数采模块：提供高精度、高采样率的数据采集能力，支持灵敏传感器的信号采集。

软件

• 开源免费的锐视测控软件平台

为什么选择简仪

• 锐视测控平台^®：提供了一个强大且易于使用的开发环境，帮助客户快速实现项目开发。

• 快速开发：基于锐视开发软件，客户可以迅速完成从概念到实际应用的转变。

• 成熟的产品：简仪产品经过长期市场验证，具有可靠的性能和稳定性。

• POC验证服务：简仪提供售前的POC验证服务，帮助客户验证产品性能和适用性。

• 供货速度：简仪能够快速供货，确保项目按时进行。

• 技术支持和快速响应能力：简仪提供优质的本地化技术支持，快速响应客户需求，帮助客户解决问题，确保了测试任务的顺利进行。

通过采用简仪的解决方案，客户成功克服了晶圆缺陷检测系统中的挑战，实现了缺陷的精准定位和高效数据采集。简仪的产品不仅满足了系统所需的高性能技术需求，还通过完善的服务和支持简化了开发流程，加速了项目的落地实施。